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수정진동자 기반 AFM (Quartz Resonator-AFM)
나노 기술은 현대 과학과 산업의 경계를 허무는 핵심 동력이며, 원자 현미경(AFM)은 지난 수십 년간 이 미세 세계를 탐구하는 표준 도구로 자리 잡았습니다. 기초 소재부터 바이오, 신소재에 이르기까지 나노 구조의 정밀한 시각화는 새로운 발견의 토대가 됩니다. 특히 미세한 3D 아키텍처로 진화하는 첨단 반도체 공정에서 AFM은 소자의 성능과 수율을 결정짓는 필수적인 계측 인프라로 그 역할이 더욱 강조되고 있습니다.
멀티스케일인스트루먼트는 기존 캔틸레버 방식의 한계를 뛰어넘는 수정진동자(Quartz Resonator) 기반의 Self-Sensing 기술을 선보입니다. 복잡한 외부 광학계 없이 원자력을 직접 감지하는 이 혁신적 아키텍처는 고강성 센서 특유의 탁월한 안정성을 바탕으로 팁과 시료 사이의 상호작용을 극도로 정밀하게 제어하여 독보적인 Contactless™ 측정을 실현합니다. 이를 통해 구현된 이미징은 민감한 나노 시료의 손상을 원천 차단하고 데이터의 재현성을 극대화하여, 차세대 나노 계측의 새로운 표준을 제시합니다.